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反渗透水净化设备(膜分离技术)技术性的运用使反渗透超纯水设备从传统式的阳离子交换器、渗碳、阴离子交换器、复合型离子交换器获得了一次发展。
近些年逐渐国外应用推广的EDI(电去离子)技术性,则是超纯水系统生产技术的一次改革,此后进入了一个不用再造化工品,而能生产制造出达到18MΩ·CM的超纯水系统,用以半导体材料、集成电路芯片等领域。反渗透超纯水设备是选用专用型RO技术性设计方案,核心部件、机器设备选用進口知名商标,加工工艺优秀,品质靠谱,扩展性强,构造合理占地面积小,水使用率高,耗能低,全自动化技术运作,实际操作维护保养简易。一般产水量低限0.25m3/hr,限制不限,水利用率一般可以达到75%之上,除盐率>98%。产水率随渗水溫度降低和反渗透膜脆化或受环境污染有一定转变。
反渗透超纯水设备典型性生产流程为:
1:预备处理-反渗透-提纯水箱-离子交换器-紫外线杀菌灯-纯水泵-用水点
2:预备处理-一级反渗透-二级反渗透(正电反渗膜)-提纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌灯-用水点
3:预备处理-反渗透-正中间水箱-正中间水泵-EDI设备-提纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌灯-用水点
4:预备处理→紫外线消毒设备→一级RO设备→二级RO设备→正中间水箱→EDI设备→脱氨设备→氮封纯水箱→除TOCUV设备→打磨抛光阳离子树脂→超滤装置→用水点
水体合乎美国ASTM规范,电子部超纯水系统水质检测标准(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)
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