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化学指标单位:μg/L
序号 |
水质项目 |
一级高纯水指标 |
二级高纯水指标 |
1 |
电阻率(25℃)MΩ·cm |
≥15 |
≥10 |
2 |
电导率,μs/cm |
0.05 |
0.1 |
3 |
PH值 |
6.8~7.2 |
6.6~7.4 |
4 |
细菌总数,个/mL |
<3 |
<9 |
5 |
微粒(直径>0.5μm,粒/mL) |
<150 |
<300 |
6 |
二氧化硅 |
<10 |
<20 |
7 |
有机物(以COD计) |
<0.3 |
<0.5 |
8 |
钠Na |
<0.5 |
<2 |
9 |
铁Fe |
<1 |
<2 |
10 |
铜Cu |
<0.5 |
<1 |
11 |
钙Ca |
<1 |
<3 |
12 |
镁Mg |
<0.2 |
<1 |
13 |
锌Zn |
<0.5 |
<1 |
14 |
锰Mn |
<0.2 |
<0.5 |
说明:①一级高纯水合用于大规模集成电路,微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。
②二级高纯水合用于一般电路,分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。
③本表按1980年电子产业部尺度摘录。
"工业超纯水水质标准是什么?"由“中水回用”厂家-滢源水处理设备整理发布,如需转载请注明来源及出处,原文地址://www.lalinh.com/news/318.html
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